簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "電子工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="軟性基板"


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    軟性基板上之蔽蔭遮罩圖案化多晶矽薄膜電晶體製程開發
    • /98/ 碩士
    • 研究生: 邱景彬 指導教授: 葉文昌
    • 本研究成功利用蔽蔭遮罩圖案化製程與固相結晶法於不鏽鋼基板上製作出多晶矽薄膜電晶體,所製作的p型與n型薄膜電晶體其通道長和寬分別為25和100 μm,載子移動率分別為1.4和0 cm2/V-s,Ion…
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